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ASML柏林工厂火灾后续:EUV光刻机生产交付受影响

  全球半导体产能紧张持续一年了,芯片扩产需要包括光刻机在内的重要设备,结果前几天全球最大光刻机巨头ASML在德国的工厂遭遇火灾,官方表示还要几天才能评估损失,但是现在可以确定主要是EUV光刻机生产会受影响。

ASML柏林工厂火灾后续:EUV光刻机生产交付受影响 科学快报 第1张

  ASML旗下的这家公司位于德国柏林,前身是Berliner Glas,ASML公司2020年才收购了这家公司,它们的营收额并不高,但生产的是光刻机中的一种重要部件,可以用于光刻机及晶圆之间的接口,需要有纳米级别的操作精度,可以说是小而精了。

  根据ASML的消息,虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早,但这次事件影响的主要是EUV光刻机生产,DUV光刻机不受影响。

  EUV光刻机是生产7nm以下工艺的关键设备,ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商,每台售价1亿欧元,将近10亿人民币,去年交付了35台EUV光刻机,今年计划交付55台EUV光刻机,三星、台积电及Intel是主要的客户。

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