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台积电2纳米工艺进入研发阶段:升级砷化镓晶体管 提高EUV效率

作为世界上最大和最先进的晶圆代工厂,台积电在7纳米和5纳米节点方面领先于三星和其他竞争对手,并将在明年大规模生产3纳米工艺,其次是2纳米工艺。

台积电计划在未来三年投资1000亿美元,其中先进技术成本最高,2纳米技术也是一项前所未有的新技术。台积电说,去年2纳米技术取得了很大进展,而且进展比预期的要好。

其实台积电的2nm工艺并没有宣传的那么夸张,之前只是技术探索阶段,找到了可行的技术路径。

现在2nm工艺才算是进入了研发阶段,重点转向了测试载具设计、光罩制作及硅试产等方向。

根据台积电,在2纳米工艺节点上的说法,他们也将放弃鳍式场效应管晶体管结构,转向GAA环绕栅极结构。在此之前,三星更激进,砷化镓晶体管将在3纳米节点被放弃。但是两家公司的GAA晶体管结构不会一样,也没有决定哪家更好或者更差。

在2纳米节点,光刻进程更为重要,EUV光刻不可或缺,但之前的EUV进程台积电的2nm节点也会重点改进EUV工艺,提高光刻中的质量及效率。仍存在诸多问题

至于量产时间,台积电的2纳米工厂还处于起步阶段。此前有报道称,2纳米工艺将于2023年试制,2024年量产。

台积电2纳米工艺进入研发阶段:升级砷化镓晶体管 提高EUV效率 科学快报 第1张