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世界光刻机巨头 ASML 亮相进博会 展示设备可生产 7nm 及以上制程芯片

  11月5日消息 据每日经济新闻报道,世界光刻机巨头ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV光刻机的企业,由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV光刻机。据了解,该产品可生产7nm及以上制程芯片。

世界光刻机巨头 ASML 亮相进博会 展示设备可生产 7nm 及以上制程芯片 科学快报 第1张

  另外,ASML也带来了其整体光刻解决方案,包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术,让边缘定位精度不断提高。

  光刻机(Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

世界光刻机巨头 ASML 亮相进博会 展示设备可生产 7nm 及以上制程芯片 科学快报 第2张

 

  作为全球芯片光刻技术的领导者,本次ASML(阿斯麦)以“光刻未来,携手同行”为主题亮相第三届进博会技术装备展区。时间是2020年11月5日至10日,位于技术装备展区3C6-002。

世界光刻机巨头 ASML 亮相进博会 展示设备可生产 7nm 及以上制程芯片 科学快报 第3张

  亮点如下:

  ASML 整体光刻解决方案,全方位保驾护航芯片生产的良率和产能。

世界光刻机巨头 ASML 亮相进博会 展示设备可生产 7nm 及以上制程芯片 科学快报 第4张

  光刻机模型近距离接触,带你领略光刻的神奇。

世界光刻机巨头 ASML 亮相进博会 展示设备可生产 7nm 及以上制程芯片 科学快报 第5张

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