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台媒体:台积电EUV 光刻机采购破50 台,远远超过三星

9月28日消息据台媒体DigiTimes报道,台积电加快了先进制造工艺的发展,最近扩大了订单的发放。到2021年底,台积累的EUV机将超过50架台。

报告显示,相比之下,2021年三星电子的台不足25家,EUV POD(面膜转移盒)的采购量远低于预期。

台媒体:台积电EUV 光刻机采购破50 台,远远超过三星 科学快报 第1张

台积电在8月份举行了年度技术研讨会,揭示了其在尖端制造业实力方面的状况。台积电占该行业安装的EUV设备的50%。此外,台积电还拥有EUV约60%的晶圆产量。

台媒体:台积电EUV 光刻机采购破50 台,远远超过三星 科学快报 第2张

ASML是唯一一家生产和销售EUV 光刻设备的公司。根据卡斯特里先前的估计,台积电已经从ASML购买了30-35台台设备。根据这一估计,ASML在台,已经销售了大约70台机器,到2020年底可能在台销售90台机器。

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